四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
四探針測試儀是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
四探針測試儀主要是用于測量物質(zhì)的電阻：
1.主機采用世界的先進電路設(shè)計，所測數(shù)值更精、更快、更準(一代為傳統(tǒng)式電路，缺點:體積大，速度慢，元器件繁多導致影響機器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數(shù)碼管顯示)。
3.匹配電腦接口及軟件，讓操作簡便明了化(可直接連接電腦，電腦進行自動運算根據(jù)輸入厚度，自動比照并修正系數(shù)，使被測結(jié)果更，數(shù)據(jù)可儲藏或刪除，利于使用方保存記錄)。
4.二代的測試架采用自動傳感裝置，接近被測物體時實行自動減速，避免了被測物體的損耗和探頭的磨損(于國內(nèi)市場上任何一款同類產(chǎn)品的測試架，老一代為手動)。
5.本儀器電壓檔為自動調(diào)整,電流檔為半自動.不清楚被測物體阻值時,可按菜單先選擇100MA電流檔進行自動搜索(電流可由高至低自動搜索,不能由低向高搜索),當選擇好電流檔后,電壓會自動進行調(diào)整.
6. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時，標準系數(shù)為機器自帶自調(diào)，無需另外手工調(diào)整，省去了原儀器的諸多麻煩。
7.測試探頭為鎢針，市場上多為高速鋼針。
8.每次測量均有內(nèi)置計算機自動進行溫度補償及電壓電流矯正。
9.整機測量標準不確定度:≤ 2%(國內(nèi)其它廠家誤差為≤ 5% )
