鑒別精密光學平臺質(zhì)量優(yōu)劣的步驟

1、 外觀：

精密光學平臺外觀應美觀，各部位都應無影響安全的銳角及銳邊，更重要的是檢查孔口倒角是否均勻一致（螺孔旋入后應垂直平臺面），四邊及其倒角是否平直一致。如果臺面未經(jīng)過機械加工而是人工打磨出來的孔口倒角是大小不一致的，沿臺面四周邊用目測即可看出臺面倒角處是彎曲的。

2、 固有頻率（≤2Hz）

固有頻率也稱自然頻率、自振頻率，只有在環(huán)境擾動力頻率（f）與精密光學平臺的固有頻率(fo)的比值f/fo＞√2時系統(tǒng)才有隔振作用。所以精密光學平臺的固有頻率越低，隔振效果效果就越好。該指標的檢測一般采用振動頻譜分析儀及便攜式振動分析儀來進行多點測量，如供應商不具備儀器測量，您也可用以下方法：用手用力壓下（或側(cè)推）平臺，然后迅速松開，讓其大幅度上下振動（或左右、前后擺動）起來，如一秒鐘內(nèi)往復一次即為1Hz，二次即為2Hz，依此類推。須可粗略測得精密光學平臺的固有頻率。

3、 平面度（≤0.05㎜/㎡）

該指標越小即表明臺面越平整，調(diào)整光路就越容易。一般出廠要求平面度小于0.05㎜/㎡，檢測方法一般有：光電自準直儀法、光學平面度檢查儀檢測法、水平儀檢測法、激光平面度檢測儀等等。對安裝在實驗室的精密光學平臺平面度一般采用光電直準儀和光學平直度檢查儀檢測，經(jīng)計算后得出。這些儀器也是生產(chǎn)廠商應必須配置的。

4、 表面密迪紋理及粗糙度（Ra≤0.8μm）

該指標的意義在于保證精密光學平臺有一個光滑但無反射的工作表面。良好的表面粗糙度有利對實驗儀器的保護，產(chǎn)品出廠要求一般在Ra≤0.8μm以下，粗糙度完成可采用對比樣板目測和粗糙度儀檢測，如果是現(xiàn)場檢測可采用粗糙度儀完成。該儀器具有便攜、可直讀數(shù)據(jù)、精度高等優(yōu)點。

5、 重復定位精度（±0.10㎜）

該指標意義在于保證工作臺面在動態(tài)條件下的水平，以方便使用者高速光路，檢測方法是將百分表（精度0.02㎜）固定在穩(wěn)固的物體上，表頭頂住臺面，然后在工作臺面上反復加載或卸載，待穩(wěn)定后讀數(shù)在范圍正負0.10㎜以內(nèi)即為合格。

6、 工作臺面的振幅（So≤2μm）

在正常的使用環(huán)境下，為了保證儀器的使用精度，精密光學平臺必須提供盡可能低的振幅。同時也可通過臺面和地面振幅指標的對比，反映系統(tǒng)的隔振性能。如平臺振幅小于地面振幅，則平臺是隔振的，反之則是不隔振或振動放大的。振幅指標的檢測，類同固有頻率檢測。

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